蚀刻机腔体材料测试

其材料测试需围绕耐腐蚀性、耐高温性、抗等离子体侵蚀、表面洁净度及力学稳定性展开，通过模拟实际刻蚀工艺条件评估材料适用性，具体测试方向如下：一、耐化学腐蚀性能测试

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